Глава 172. Машина для литографии EUV?
Поскольку у меня уже есть опыт улучшения восьмидюймовых пластин, используемых в 90-нм чипах, я должен улучшить качество и производительность пластин. «
Услышав слова Линь Сюаня, многие люди на месте происшествия одобрительно кивнули.
Действительно, самая большая разница между восьмидюймовой и шестидюймовой пластинами — это канал обработки.
За тот же период времени вы можете сэкономить много денег, используя восьмидюймовые пластины для производства чипов.
Если вас не волнует стоимость, шестидюймовую пластину действительно можно использовать, и Линь Сюань сказал, что это улучшит качество пластины, что даже лучше.
«Итак, наша следующая задача — это ряд производственных проблем после резки пластин»
Когда слова Линь Сюаня упали на землю, люди на месте происшествия снова кивнули, выражая свое понимание.
Затем они все с любопытством посмотрели на Линь Сюаня, желая посмотреть, как Линь Сюань организует для них задания.
Но в это время Линь Сюань не сразу поставил задачу. В конце концов, Линь Сюань не знал многих людей на месте происшествия, так как же он мог организовать это задание?
Значит, мне нужно, чтобы Линь Сюань рассказал о текущих трудностях?
Какое оборудование им нужно разработать, а затем они смогут организовать исследовательские задачи миссии в соответствии со своими желаниями и тем, в чем они хороши.
«Существует множество машин для производства чипов, но некоторые из них в настоящее время используют 150-нм оборудование в Hantang Technology, и такое оборудование практически невозможно использовать после модификации».
«Из-за ограниченности средств наши научные исследования возлагаются на основное оборудование, которое невозможно купить, такое как фотолитографические машины, травильные машины, высокоэнергетические ионные имплантаторы и т. д.»
После паузы Линь Сюань тихо продолжил:
«Самыми сложными из них являются литографические и травильные машины, оборудование для осаждения тонких пленок и машины для имплантации ионов высокой энергии».
«Оборудование для осаждения тонких пленок, островная страна занимает лидирующие позиции в мире, и мы также должны преодолеть химические материалы, используемые в оборудовании для осаждения тонких пленок.
В таком же положении находятся и травильные машины, и самое сложное на данный момент — это литографическая машина. «
Но в это время кто-то сказал:
«Литографическая машина на самом деле не так уж и сложна. В конечном счете, литографическая машина — это всего лишь проблема точности оборудования, объектива и системы экспонирования сканирования. У нас нет больших проблем с источником света.
У нас есть ведущий в мире лазерный кристалл KBBF в Даксии, и Даксия также является мировым лидером в области лазеров. «
Это говорил один из молодых аспирантов.
Хотя многие технологии в Великой Ся всегда были отсталыми в глазах мира, на самом деле они не являются слабыми в некоторых специальных областях, особенно в военной области.
На самом деле, Даксия уже проводила исследования в области лазеров и имеет свои уникальные достижения, а именно кристаллы KBBF, используемые в лазерах!
Этот кристалл KBBF не простой. Можно сказать, что после того, как Даксия изобрела его, он сразу же оказался в авангарде мирового лазерного поля.
После прекращения продаж кристаллов KBBF в 2009 году лазерные исследования Medigo были вынуждены прекратиться на пятнадцать лет!
Лишь пятнадцать лет спустя они разработали новый лазерный кристалл для замены кристалла KBBF компании Daxia и возобновили крупномасштабные исследования лазеров.
Так что лазерная технология Daxia на самом деле не слабая и находится на передовом мировом уровне как сейчас, так и в будущих поколениях.
Среди них продажи лазерной продукции Daxia также уже давно достигли 50% мирового рынка. Можно сказать, что это редкая ситуация технологического лидерства!
«Нет, из лазерных кристаллов КББФ нельзя сделать литографические машины, лазеры кристаллов КББФ слишком мощные, а излучаемый ими лазер (ЭУФ) слишком острый.
Если вы не будете осторожны, весь чип будет поврежден и его нельзя будет использовать. Если наша система визуализации точности управления и выравнивания не достигнет удивительного уровня, мы определенно не сможем использовать крайний ультрафиолет. «
В настоящее время представленные на рынке литографические машины используют источники ультрафиолетового света, которые делятся на ультрафиолетовый свет (EV), глубокий ультрафиолет (DUV) и крайний ультрафиолет (EUV).
Длина волны источника света короче, когда он достигает задней части, литографический нож острее, а требования к точности контроля выше.
Таким образом, в настоящее время в мире нет литографической машины, которая использует крайний ультрафиолетовый свет (EUV) в качестве источника света для создания литографической машины.
Ведь при нынешнем техпроцессе в десятки нанометров такая высокоточная литографическая машина не нужна. В настоящее время большинство литографических машин по-прежнему используют ультрафиолетовый свет (EV).
Только самая передовая 45-нм техпроцесс использует источник глубокого ультрафиолета перед EUV, который также является литографической машиной DUV.
Что касается машины EUV-литографии следующего шага, то в настоящее время ее не существует. Причина, по которой этого нет, заключается в том, что в настоящее время на это нет спроса.
Конечно, настоящая причина заключается в том, что стоимость разработки такой машины для литографии EUV слишком высока, не меньше, чем стоимость проектирования и разработки с нуля, поэтому в настоящее время на рынке нет такой машины для литографии EUV.
«Правда, литографические машины непросто изготовить. Возможно, вы работаете в других областях, поэтому принимаете это как должное. Одна только линза может нас убить».
В это время врач в первом ряду толпы также сказал, что построить литографическую машину непросто.
По его мнению, самая сложная часть литографической машины — это линзовая часть.
Погрешность зеркала, требуемая литографической машиной, очень мала и не может превышать 0,05 микрона.
Используя образную метафору диапазона этой ошибки, если сравнить ошибку зеркальной поверхности с островом Тянья Хайцзяо, то ошибка плоскостности всего острова Тянья Хайцзяо не может превышать десяти миллиметров!
Самое страшное, что такой объектив не один, потому что объектив действительно имеет ошибки изображения, которые очень серьезно влияют на процесс производства литографии.
Из-за небольшого отклонения весь чип будет поврежден. Ведь его размер составляет десятки нанометров. Если свет попадет не в то место, он обязательно произойдет короткое замыкание, когда он, наконец, будет изготовлен в готовом продукте!
Таким образом, чтобы устранить ошибку изображения, литографической машине нужно много линз, чтобы решить проблему ошибки изображения.
Вот почему многие дорогие видеокамеры или объективы имеют такую длину.
Причина на самом деле та же, что и проблема, с которой сталкивается литографическая машина. Чтобы решить проблему ошибки изображения, в объективе камеры имеется множество линз!
Эти объективы являются высокоточными, и требования к точности друг друга очень высоки, поэтому может возникнуть ситуация, когда объектив будет дороже, чем камера.
А кроме всего прочего, в линзовом модуле мобильного телефона более поздних поколений на самом деле пять-шесть линз!
А литографические машины, естественно, более требовательны, чем фотоаппараты и объективы мобильных телефонов, поэтому нынешние литографические машины все глубже и глубже проникают в десятки нанометров.
Требования становятся все выше и выше, увеличивается и количество объективов. Число линз современных литографических машин достигло 16–20 линз.
Чего люди в настоящее время не знают, так это того, что количество линз машин EUV-литографии, которые могут производить чипы размером в несколько нанометров, в последующих поколениях достигло 29!
Это также причина, по которой Линь Сюань готов потратить 100 миллионов юаней на приобретение потрепанной компании Phoenix.
Поскольку требования к этим линзам слишком строгие, для тех рабочих восьмого уровня, которые специализируются на полировке зеркал, Линь Сюань готов потратить 100 миллионов, чтобы купить их!
«Давайте позволим господину Линь Сюаню решить, что делать».
В первом ряду толпы академик Ван смотрел на врачей и аспирантов, которые слабо начали ссориться, и говорил медленно.
После слов академика Ванга сцена мгновенно погрузилась в тишину.
Затем люди обратили свое внимание на Линь Сюаня. Под пристальными взглядами тысяч пар глаз Линь Сюань тоже медленно произнес:
«Что касается литографической машины, мое решение состоит в том, чтобы отказаться от литографической машины с глубоким ультрафиолетом (DUV) и сразу разработать машину для литографии с экстремально глубоким ультрафиолетом (EUV)!
Более того, не так много компаний вышли на рынок машин EUV-литографии, и в этой области не так много патентов, что удобно для нас при свободном проектировании и значительно снижает сложность проектирования. «
Услышав решение Линь Сюаня, некоторые врачи на месте происшествия покачали головами и не согласились с отказом от установки EUV-литографии и непосредственной разработкой машины EUV-литографии.
«Г-н Лин, хотя у нас есть преимущество в источнике света из-за кристалла KBBF.
Но плоское зеркало и система позиционирования изображения являются проблемой, а требования к производительности частей литографической машины очень высоки, а точность также очень высока. Можем ли мы обеспечить такой уровень требований?
Я не говорю о дизайне, а есть ли у нас точность материала и обработки? «
После слов допрашивавшего врача на сцене воцарилась абсолютная тишина.
Действительно, причина, по которой зарубежные страны более развиты, чем мы, заключается в том, что у них богатая рабочая сила.
Помимо огромной команды рабочих восьмого и девятого уровня, точность их машин также поразительна!
Литографическая машина — это вещь, охватывающая все области, она затрагивает все области оптики, машин, материалов, химии и т. д., и ее называют цветком промышленности.
Многие вещи, если Даксия хочет спроектировать, он может это спроектировать, но он может спроектировать, но не может обработать!
Хотя существуют работники восьмого и девятого уровней, сколько вещей могут сделать работники восьмого и девятого уровней?
В это время, глядя на замолчавших людей, секретарь Хэ также своевременно заговорил:
«Не беспокойтесь о точности обработки, ведь мы внесли большие изменения по сравнению с трудным периодом «два раза и одна звезда»!
Хотя точность обработки наших станков не очень хорошая, у меня в Даксии огромная команда рабочих! «
Говоря об этом, госсекретарь Хэ сказал с улыбкой:
«На этот раз начальство также безжалостно пытается преодолеть 45-нанометровый техпроцесс. Один старик даже конкретно сказал, что он будет полностью поддерживать все, что хочет, будь то армия или гражданское население, он должен полностью сотрудничать.
Так что, будь то государственный завод или военный завод, если вы можете его спроектировать и заплатить комиссию, тогда я помогу вам пройти по ссылке, даже если вы складываете его вручную, вы должны накапливать твои части!
Кроме того, не нужно беспокоиться о материальных вопросах. На этот раз начальство также безжалостно, чтобы я мог продвинуть технологию полупроводникового процесса до 45 нанометров.
Пока Hantang Technology дает деньги, некоторые с трудом заработанные стратегические материалы будут жестоко открыты для вашего использования, поэтому вам не придется беспокоиться о материальных проблемах.
Пока у нас есть то, что есть, мы немедленно отдадим это вам. Если у нас его нет, мы постараемся доставить его вам! «
Услышав речь госсекретаря Чена, на сцене воцарилась абсолютная тишина! Посетите сайт Novelbin(.)c.𝒐m, чтобы следить за обновлениями.
В глазах у всех был ужас, и они не ожидали, что вышестоящее начальство обратит на это столько внимания!
Спасибо Дашу после 90-х
Айи ABC
￡ Смущенный зверь любви
древность. заходящее солнце
керамический горшок
Забронируйте другу 120322053729449
Жду звезд и жду тебя
Обещание Юань Чен
Ежемесячная поддержка билетов для 8 братьев.
(конец этой главы)
